logo Поставка вакуумного оборудования по всей России
Поставка вакуумного оборудования по России
Дистрибьютор Leybold GmbH (Oerlikon Leybold Vacuum GmbH) адрес
115088 Россия Москва, ул.Угрешская, 2, стр.25
почта телефон телефон
шапка

Вакуумное оборудование

Криогенные вакуумные насосы COOLVAC и криогенные головки COOLPOWER от Leybold GmbH (ранее Oerlikon Leybold Vacuum GmbH)

Раздел каталога по криогенным вакуумным насосам COOLVAC и криогенным решениям от Leybold GmbH

Параметр

800

1500

2 000

3 000

5 000

Высоковакумный патрубок

160 ISO-K 200 ISO-K
200CF
250 ISO-K
250CF
320 ISO-K
320CF
400 ISO-K

Форвакумный патрубок

25 ISO-KF 25 ISO-KF 25 ISO-KF 25 ISO-KF 40 ISO-KF

Тип криогенной головки

7/25 7/25 7/25 7/25 5/100

Скорость откачки по H2O, л/с

2600 4600 7000 10500 18000

по Ar/N2, л/с

640/800 1200/1500 1600/2100 2500/3000 4000/5200

по H2/He, л/с

1000 2500 3200 6000 6200

Емкость по Ar/N2, бар·л

300/300 1000/1000 1600/1600 2500/2500 3000/3000

по H2 при 10-6, бар·л

4.5 12.0 15 28 32

Газовая нагрузка по Ar/N2, бар·л

4/4 12/12 12/12 15/15 10/10

по H2O, бар·л

2 6 6 10 7

Кроссовер *, мбар·л

150 365 550 590 700

Масса, кг

12,0 15,0 25,0 35,0 42,0

Размеры, мм
Д х В

180 х 353 240 х 549 304 х 559 370 х 604 450 х 640

Параметр

10 000

18000

30000

60 000

Высоковакумный патрубок

500 ISO-K 630 ISO-F 35 ANSI 1250 ISO-F

Форвакумный патрубок

40 ISO-KF 63 ISO-K 63 ISO-K 63 ISO-K

Тип криогенной головки

5/100 5/100 2x(5/100) + 140T 2x(5/100)+ 2x(140T)

Скорость откачки по H2O, л/с

30000 46000 93000 180000

по Ar/N2, л/с

8400/10000 13500/18000 25000/30000 47000/57000

по H2/He, л/с

12000 14000/4000 30000/7000 60000/15000

Емкость по Ar/N2, бар·л

5500/5500 5000/5000 6500/6500 9000/9000

по H2 при 10-6, бар·л

45 65 100 150

Газовая нагрузка по Ar/N2, бар·л

10/10 14/14 14/14 25/25

по H2O, бар·л

7 7 7 12

Кроссовер *, мбар·л

800 850 1200 1000

Масса, кг

45,0 65,0 245,0 450,0

Размеры, мм
Д х В

550 х 704 658 х 608 1060 х 886 1310 х 829
* Кроссовер - это максимальное количество газа (приведенное к нормальным условиям - 1 атс, 20 оС), которое при нахождении в вакуумной камере вызовет повышение температуры криопанелей на 20К, с учетом эффекта прорыва.

Процесс высоковакуумной откачки с использованием криогенных средств откачки, основывается на значительной активизации процессов сорбции молекул различных газов (азот, водород, аргон, ксенон, водяной пар, гелий и другие) в условиях криогенных температур. принято применять криогенные вакуумные решения в диапазоне давлений от 10-3 до 10-11 мбар.
Из-за наличия у криогенных насосов предела по максимальному количеству сорбированного газа насосы не выгодно применять при высоких давления (выше 10-3) - крио панели быстро насытятся(наморозят) газом, "обледенеют" и потеряют способность сорбировать газ. Параметр емкости криогенной панели является довольно важным, например, для COOLVAC 10000, DN 500, емкость по Ar/N2 равна 5500 бар·л).

Для того, чтобы получить высокий (либо сверхвысокий) вакуум, специальные холодные поверхности (они же криопанели) обязаны обладать криогенным уровнем температур. По системе охлаждения криогенные насосы подразделяются на рефрижераторные, испарительные и оснащенные резервуаром хладагента.

Рефрижераторные устройства от Leybold GmbH (Oerlikon Leybold Vacuum GmbH) характеризуются тем, что хладагент располагается в контуре, который в свою очередь объединяет криоголовку с компрессором.

Достоинства процесса откачки с помощью крионасоса (криогенного вакуумного насоса):

  • хорошие параметры откачки по всем газам;
  • увеличенные показатели откачки по парам воды;
  • достижение максимальных скоростей для входного высоковакуумного фланца определенных размеров;

Конструкционные преимущества криовакуумных насосов:

  • отсутствие высокоскоростных подвижных частей (в отличие от механических средств): безмасляный вакуум и высокая надежность;
  • диапазон вакуума от 10-3 до 10-11 мбар;
  • на процесс откачки не влияет наличие внешний вибрации.

Преимущества при эксплуатации криогенных вакуумных насосов:

  • Оптимальные габаритные размеры для средств откачки выше 5000 л/с;
  • периодичная работа устройств предварительной откачки: для создания предварительного разряжения, при регенерации;
  • простота управления процессом откачки (различные варианты: панель CRYOVISION, программное обеспечение для ПК, интерфейсы, контакты для PLC;
  • оптимальное высоковакуумное безмасляное решение для систем с большой производительностью (выше 20000 л/с).

Крионасос Leybold GmbH (Oerlikon Leybold Vacuum GmbH) охлаждается при помощи надежной двухступенчатой криоголовки, которая работает по действенному принципу авторства Гифорда/Мак Махона.

1-ая ступень криогенной головки (9) производит охлаждение криопанелей 5 и 6. В зависимости от разновидности насосного устройства, а также эксплуатационных условий может достигаться температурный уровень в диапазоне 45-80 К.

Криогенные панели производятся из меди. Данный материал обладает высокой теплопроводностью, благодаря чему оптимизируется процесс переноса тепла. Криопанели также обладают специальным отражающим покрытием, помогающим существенно снизить потери энергии.

2-ая ступень криогенной головки (7) участвует в охлаждении криопанели 8. Здесь максимальный температурный диапазон составляет 10-20 К.

Процесс конденсации протекает в насосном устройстве в условиях криогенных температур следующих газов: азот (N2), аргон (Ar2) и кислород (O2). Внутренние элементы из меди прилегают достаточно плотно к поверхности второй ступени, принадлежащей криогенной головке. Надлежащая откачка водорода (H2), гелия (He) и неона (Ne) тоже возможна, поскольку на охлаждаемых поверхностях имеется адсорбент.

COOLVAC и COOLPOWER криогенные насосы и криоголовки от Leybold GmbH (Германия)

zapros
Отправить запрос

Расчет кривой откачки
Расчет откачки

Каталог PDF версия (123,5 МБ)

Обзор продукции (1,3 МБ)

Основы вакуумной техники от Leybold GmbH

Основы течеискания от Leybold GmbH
печать

Новости