logo Поставка вакуумного оборудования по всей России
Поставка вакуумного оборудования по России
Дистрибьютор Leybold GmbH адрес
115088 Россия Москва, ул.Угрешская, 2, стр.25
почта телефон телефон
шапка

Вакуумное оборудование

Компания Leybold GmbH поставила вакуумную ныпылительную систему UNIVEX 600

Хотим сообщить о завершении поставки двух систем UNIVEX 600 - необходимо было заменить старые системы от Balzers (35 лет), которые уже не могли обеспечивать требуемых технологических требований. Заказчик - ведущая мировая компания в области полупроводников, специлизирующая в разработке и производстве узкоспециализированных кремниевых пластин. Компания искала замену двух 35-летних систем нанесения покрытия от Balzers. Leybold был одним из возможных поставщиков благодаря хорошему опыту с установкой нанесения покрытий UNIVEX 350, установленной около 10 лет назад. Эта установка до сих пор эксплуатируется для отработки экспериментальных покрытий.

Наиболее важными критериями в выборе напылительной системы:

  • Совместимость с установленным процессом нанесения покрытия (геометрические соотношения, размеры пластин, обработка пластин, однородность тонких пленок).
  • Пропускная способность пластин (мощное и надежное оборудование для нанесения покрытий, высокая скорость откачки).
  • Высокая степень использования системы и компактные размеры из-за ограниченного пространства.
  • Отличное послепродажное обслуживание и поддержка.

В течение 6 месяцев клиент проводил процедуру выбора решения и поставщика - в результатае Leybold смогли убедить клиента в нашем решении и получить окончательный заказ против двух других конкурентов.
Наше решение основано на компактном стандартном UNIVEX 600 с электронно-лучевым испарителем, двумя резистивными испарителями и ионным источником. Эффективный процесс откачки обеспечивается "сухим" решением: с помощью двух параллельных ТМН TURBOVAC MAG W2200 iP с маятниковым затвором, а также винтовым насосом LEYVAC LV80. Кроме того, стенки вакуумной камеры можно нагревать и охлаждать водой.

Leybold предложило две одинаковых системы для нанесения покрытий UNIVEX 600, которые будут монтироваться в чистых помещения. Это означает, что UNIVEX будет эксплуатироватьтся в чистой зоне, а все компоненты системы (насосы, клапаны, датчики, обвязка и контроллеры) будут расположены в сервисной зоне.

Подробнее о линейке напылительных вакуумных установок/систем UNIVEX от Leybold GmbH (Лейбольд, Германия) Поставка напылительной вакуумной установки UNIVEX 600 для отработки технологический процессов