logo Поставка вакуумного оборудования по всей России
Поставка вакуумного оборудования по России
Дистрибьютор Leybold GmbH (Oerlikon Leybold Vacuum GmbH) адрес
115088 Россия Москва, ул.Угрешская, 2, стр.25
почта телефон телефон
шапка

Вакуумное оборудование

Турбомолекулярные вакуумные насосы TURBOVAC классической серии на керамическом подшипнике с раздельным преобразоватем частоты

Раздел каталога о турбомолекулярных вакуумных насосах TURBOVAC от Leybold GmbH (Германия)

Параметр

50

50

151С

361С

361С

600C

1000C

1000C

1000C

Высоковакумный патрубок

40 ISO-KF
40 CF
63 ISO-K
63 CF
100 ISO-K
100 CF
160 ISO-K
160 CF
160 ISO-K
160 CF
160 ISO-K
160 CF
160 ISO-K
160 CF
200 ISO-K
200 CF
250 ISO-K

Форвакумный патрубок

16 ISO-KF 16 ISO-KF 25 ISO-KF 25 ISO-KF 25 ISO-KF 40 ISO-KF 40 ISO-KF
63 ISO-K
40 ISO-KF 40 ISO-KF
63 ISO-K

Скорость откачки по азоту, л/с

33 55 145 345 400 560 850 1100 1150

Газовая нагрузка по азоту, мбар·л/с

0,9 1,0 1,5 3,0 3,0 4,0 6,5 6,5 6,5

Предельное остаточное давление ISO-K/CF, мбар

8·10-8 / 5·10-10

Макс. форвакуумное давление, мбар

0,1 0,1 0,5 0,5 0,5 0,1 5·10-2 5·10-2 5·10-2

Масса, кг

2,0 2,0 8,0 17,0 17,0 17,0 25,0 25,0 25,0

Размеры, мм
Д х Ш х В

93 х 93 х 166 93 х 93 х 157,5 132 х 132 х 207 196 х 196 х 254 196 х 196 х 254 225 х 225 х 317 258 х 258 х 338 258 х 258 х 351 258 х 258 х 310

О турбомолекулярных вакуумных насосах TURBOVAC на керамическом подшипнике от Leybold GmbH (Германия)

Принцип работы турбомолекулярного насоса

Во внутреннем пространстве корпуса установлена турбина с лопатками. Вследствие того, что скорости лопаток ротора и молекул газа соизмеримы, образуется разница вероятностей движения газовых частиц (частицы проходят сквозь насос, но обратно не возвращаются). Процесс откачивания газа в рассматриваемом турбомолекулярном насосе зависит от потока газовых молекул, который движется от всасывающего фланца к форвакуумному порту.

Турбомолекулярные вакуумные насосы предназначены для получения условий высокого, и сверхвысокого вакуума в необходимом объеме. Насосы от Leybold GmbH серии TURBOVAC на керамическом подшипнике, отличаются простой и надежностью - данная концепция уже долгое время производится на заводе Leybold в Германии.

Классическая линейка TURBOVAC это турбомолекулярный насос с отдельным блоком электроники - то есть преобразователь частоты и блок питания находятся не на корпусе насоса (в насосе) - для некоторых применений это является необходимым условием надежной многолетней эксплуатации.
Несмотря на то, что современные тенденции в турбомолекулярных насосах - это насосы на опорах с использованием магнитов - турбомолекулярные вакууные насосы на керамических подшипниках ещё долго будут существовать. Срок службы данных насосов во многих применениях исчисляется 10-ти летиями, поэтому довольно распространены случаи работы данных насосов более 50,000 ч.

Турбомолекулярные насосы серии TURBOVAC classic это как насосы с только турбомолекулярной ступенью так насосы, и имеющие молекулярную (дожимающую) ступень (ступень Хольвега).

Компания Leybold GmbH (Oerlikon Leybold Vacuum GmbH) стала первым производителем, который предложил серийные образцы данной продукции. В настоящее время турбомолекулярный насос TURBOVAC MAG (равно как и TURBOVAC) успешно применяется в самых различных сферах (см. таблицу «Применения», находящуюся в разделе «Общие»).

Серия TURBOVAC

Данная серия характеризуется наличием опорного подшипника ротора механического типа. При комбинировании таких насосных устройств с технически подходящими форвакуумными насосами обеспечивается бесперебойное функционирование в пределах 10-1 мбар - 10-10мбар.

Скоростные показатели откачивания по воздуху составляют порядка 35 л/с - 2400 л/с. Широкая популярность такого оборудования в подавляющем большинстве высоко- и сверхвысоковакуумных использований объясняется следующими преимуществами: компактностью конструкции, наличием практичного керамического подшипника, а также легкостью в эксплуатации. 

Установка насосов TURBOVAC возможна в:

  • масс спектрометры;
  • газовые и жидкостные хроматографы;
  • области напыления, в которых осуществляется создание поверхностного слоя цифровых дисков;
  • установки, предназначенные для напыления оптических слоев с большой площадью;
  • установки для изготовления полупроводников (в тех процессах, где исключено участие вещества, способных вызвать коррозию).

Преимущества насосных устройств TURBOVAC:

Каждый такой турбомолекулярный насос, цена которого является вполне доступной, имеет вместе с тем целый ряд других существенных плюсов:

  • средства откачивания без масла, позволяющие получать вакуум высокого и сверхвысокого характера;
  • возможность функционирования при различных ориентациях;
  • высокий уровень надежности;
  • легкость в использовании;
  • компактность дизайна.
Турбомолекулярные вакуумные насосы TURBOVAC классической серии на керамическом подшипнике с раздельным преобразоватем частоты от Leybold GmbH (Германия)

zapros
Отправить запрос

Расчет кривой откачки
Расчет откачки

Каталог PDF версия (123,5 МБ)

Обзор продукции (1,3 МБ)

Основы вакуумной техники от Leybold GmbH

Основы течеискания от Leybold GmbH
печать

Новости