logo Поставка вакуумного оборудования по всей России
Поставка вакуумного оборудования по России
Дистрибьютор Leybold GmbH (Oerlikon Leybold Vacuum GmbH) адрес
115088 Россия Москва, ул.Угрешская, 2, стр.25
почта телефон телефон
шапка

Вакуумное оборудование

Турбомолекулярные вакуумные насосы марки TURBOVAC серии MAG

Раздел каталога по турбомолекулярным вакуумным насосам TURBOVAC MAG с раздельным блоком электроники

Параметр

W300P

W400P

W600P

W700P

W1500

W2200

W2800

W3200

Высоковакумный патрубок

100 ISO-K
100 CF
160 ISO-K
160 CF
160 ISO-K
160 CF
200 ISO-K
200 CF
250 ISO-K
200 CF
250 ISO-K
250 CF
250 ISO-K
250 CF
320 ISO-K

Форвакумный патрубок

16 ISO-KF 16 ISO-KF 25 ISO-KF 25 ISO-KF 40 ISO-KF 40 ISO-KF 40 ISO-KF 40 ISO-KF

Скорость откачки по азоту, л/с

300 365 550 590 1220 2000 2650 3200

Предельное остаточное давление ISO-K/CF, мбар

1·10-8 / 1·10-10

Макс. форвакуумное давление, мбар

8,0 8,0 6,0 6,0 2,6 2,0 2,0 2,0

Масса, кг

12,0 12,0 17,0 17,0 32,0 28,0 64,0 65,0

Размеры, мм
Д х Ш х В

155 х 155 х 250 180 х 180 х 250 204 х 204 х 281,5 240 х 204 х 280,5 285 х 285 х 307 317 х 317 х 371 307 х 307 х 391 425 х 425 х 316

TURBOVAC MAG турбомолекулярные вакуумные насосы на магнитном подшипнике от Leybold GmbH с раздельным блоком электроники

Вакуумные турбомолекулярные насосы на магнитном подшипнике производятся серийно компанией Leybold GmbH (Германия) с 1975. Проблема ранних турбомолекулярных насосов того времени ненадежность и возможность эксплуатации только в неагрессивных применениях. Именно в 80-е годы различными отраслями промышленности было поставлен ряд сложных задач:

  • бесмаслянный высокий вакуум;
  • высокий вакуум с одновременным присутствие агрессивных газов (коррозионно-активных, опасных для человека)
  • циклическая работа высоковакуумного насоса

Одним словом, появилось большое количество перспективным применений, в которых применение классических высоковакуумных турбомолекулярных насосов было невозможным. Благадаря такой вынужденной потребности и произошел скачек в выпуске серийных турбомолекулярных насосов на магнином подвесе TURBOVAC MAG.

Первые TURBOVAC MAG имели небольшую производительность - 300 - 360 л/с, и основным применением стала реализация процессов испарения газовай фазы на подложки (напыление - ECVD PECVD PVD) с примененим вредных коррозионно-активных веществ.

Турбомолекулярные вакууные насосы TURBOVAC MAG для агрессивных процессов

Далее Leybold GmbH (Германия) начинает выпускать на рынок модели MAG 830 и 1300. Появляются также версии со специальным покрытием ротора и проточной части (для исключения реакции с откачиваемой средой) - версии C, а также модели со стабилизацией температуры внутри вакуумного насоса для исключения конденсации откачиваемых веществ - версии T.

Принцип работы действия турбомолекулярного насоса TURBOVAC

Во внутреннем пространстве корпуса установлена турбина с лопатками. Вследствие того, что скорости лопаток ротора и молекул газа полностью соизмеримы, образуется разница вероятностей движения газовых частиц по направлению от одного насоса к другому (частицы проходят сквозь насос, но обратно не возвращаются). Процесс откачивания газа в рассматриваемом насосном устройстве находится в состоянии зависимости от прямого потока газовых молекул, который движется от всасывающего фланца к форвакуумному порту.

Серия TURBOVAC MAG C и CT

Данная серия характеризуется наличием полноценного 5-ти осевого магнитного подшипника (но имееют опорный механический подшипник - для работы в аварийныхз ситуациях). все насосы серии MAG питаются от отдельного преобразователя частоты - это несомненно преимущество, т.к. срок службы электроники меньше срока службы насоса, также возможно разместить блок электроники на большом удалении от насоса - это нужно в применениях с особыми внешними условия вокруг насоса.

Серия TURBOVAC MAG

Функционирование насосов данной серии, оснащенных подвесом ротора магнитного типа, в паре с технически совместимыми форвакуумными насосами позволяет эксплуатировать ТМН в диапазоне давлений 10-1 мбар - 10-10 мбар. Показатель скорости откачивания по воздуху составляет 300 л/с - 3200л/с. Насосное оборудование линейки TURBOVAC MAG широко используется для создания проводников (то есть в тех процессах, где требуется откачивание сред, способных вызвать коррозию), а также в электронно-лучевых микроскопах.

Преимущества насосных устройств TURBOVAC MAG:

  • абсолютно безмаслянное средство откачки вакуум;
  • монтаж в любой ориентации;
  • высокий срок службы основных узлов;
  • небольшая вибрация;
  • полностью адаптирован по откачку агрессивных сред;
  • отсутствие обслуживание подшипникового узла;
  • проверенная многолетные эксплуатацией концепция.
TURBOVAC MAG турбомолекулярные вакуумные насосы на магнитном подшипнике от Leybold GmbH (Германия)

zapros
Отправить запрос

Расчет кривой откачки
Расчет откачки

Каталог PDF версия (62 МБ)

Основы вакуумной техники от Leybold GmbH

Основы течеискания от Leybold GmbH
печать

Новости