logo Поставка вакуумного оборудования по всей России
Поставка вакуумного оборудования по России
Дистрибьютор Leybold GmbH (Oerlikon Leybold Vacuum GmbH) адрес
115088 Россия Москва, ул.Угрешская, 2, стр.25
почта телефон телефон
шапка

Вакуумное оборудование

Турбомолекулярные вакуумные насосы марки TURBOVAC серии MAG

Подробнее о турбомолекулярных вакуумных насосах TURBOVAC Oerlikon Leybold Vacuum GmbH

Презентация турбомолекулярных вакуумных насосов TURBOVAC на керамическом подшипнике

Насосное оборудование турбомолекулярного вида от компании Leybold GmbH (Oerlikon Leybold Vacuum GmbH) даёт высокий, а также сверхвысокий вакуум, отличаясь вместе с тем простым управлением и особой надежностью. От грамотности подбора насосов форвакуумной ступени напрямую зависит способность достижения предельного давления откачки уровня в  10-10мбар.

Турбомолекулярный вакуумный насос от Leybold GmbH (Oerlikon Leybold Vacuum GmbH) выпускается в виде двух линеек продукции:

  • TURBOVAC - ротор комплектуется опорным подшипником механического типа;
  • TURBOVAC MAG – ротор на магнитном подвесе.

В каждую из этих линеек продукции входит рассматриваемое насосное оборудование не только «классического» вида, но и оснащенное компандерными (дожимающими) ступенями.

Компания Leybold GmbH (Oerlikon Leybold Vacuum GmbH) стала первым производителем, который предложил серийные образцы данной продукции. В настоящее время турбомолекулярный насос TURBOVAC MAG (равно как и TURBOVAC) успешно применяется в самых различных сферах (см. таблицу «Применения», находящуюся в разделе «Общие»).

Принцип работы насоса

Во внутреннем пространстве корпуса установлена турбина с лопатками. Вследствие того, что скорости лопаток ротора и молекул газа полностью соизмеримы, образуется разница вероятностей движения газовых частиц по направлению от одного насоса к другому (частицы проходят сквозь насос, но обратно не возвращаются). Процесс откачивания газа в рассматриваемом насосном устройстве находится в состоянии зависимости от прямого потока газовых молекул, который движется от всасывающего фланца к форвакуумному порту.

Серия TURBOVAC

Данная серия характеризуется наличием опорного подшипника ротора механического типа. При комбинировании таких насосных устройств с технически подходящими форвакуумными насосами обеспечивается бесперебойное функционирование в пределах 10-1 мбар - 10-10мбар.

Скоростные показатели откачивания по воздуху составляют порядка 35 л/с - 2400 л/с. Широкая популярность такого оборудования в подавляющем большинстве высоко- и сверхвысоковакуумных использований объясняется следующими преимуществами: компактностью конструкции, наличием практичного керамического подшипника, а также легкостью в эксплуатации. 

Установка насосов TURBOVAC возможна в:

  • масс спектрометры;
  • газовые и жидкостные хроматографы;
  • области напыления, в которых осуществляется создание поверхностного слоя цифровых дисков;
  • установки, предназначенные для напыления оптических слоев с большой площадью;
  • установки для изготовления полупроводников (в тех процессах, где исключено участие вещества, способных вызвать коррозию).

Преимущества насосных устройств TURBOVAC:

Каждый такой турбомолекулярный насос, цена которого является вполне доступной, имеет вместе с тем целый ряд других существенных плюсов:

  • средства откачивания без масла, позволяющие получать вакуум высокого и сверхвысокого характера;
  • возможность функционирования при различных ориентациях;
  • высокий уровень надежности;
  • легкость в использовании;
  • компактность дизайна.

Серия TURBOVAC MAG

Функционирование насосов данной серии, оснащенных подвесом ротора магнитного типа, в паре с технически совместимыми форвакуумными насосами возможно в пределах 10-1 мбар - 10-10 мбар. Показатель скорости откачивания по воздуху составляет 300 л/с - 3200л/с. Насосное оборудование линейки TURBOVAC MAG широко используется для создания проводников (то есть в тех процессах, где требуется откачивание сред, способных вызвать коррозию), а также в электронно-лучевых микроскопах.

Преимущества насосных устройств TURBOVAC MAG:

  • средства откачивания без масла, позволяющие получать вакуум высокого и сверхвысокого характера;
  • возможность функционирования при различных ориентациях;
  • высокий уровень надежности;
  • сравнительно небольшая вибрация;
  • специализация на процессах откачивания сред, ведущих к коррозии;
  • полностью необслуживаемый характер устройств.

zapros
Отправить запрос

Заказать   звонок
Заказать звонок

Каталог PDF версия (41 МБ)

Основы вакуумной техники от Leybold GmbH

Основы течеискания от Leybold GmbH
печать

Новости