logo Поставка вакуумного оборудования по всей России
Поставка вакуумного оборудования по России
Дистрибьютор Leybold GmbH (Oerlikon Leybold Vacuum GmbH) адрес
115088 Россия Москва, ул.Угрешская, 2, стр.25
почта телефон телефон
шапка

Вакуумное оборудование

Солнечная энергетикаСолнечная энергетика, производство солнечных элементов

Oerlikon Leybold Vacuum GmbH предлагает специальные вакуумные решения для производства солнечных элементов (процессы выращивания монокристаллов, напыление полупроводниковых слоёв, процесс ламинирования). Из-за наличия особых требований по вредности, чистоте и температурным условиям проведение данных процессов предъявляет особые требования к используемым вакуумным системам.

Рассмотрим особенности применений и вакуумные системы для осуществления различных процессов в производстве солнечных модулей.

Выращивание кристаллов поли-, монокристаллического кремнияВыращивание кристаллов поли-, монокристаллического кремния.

Ключевые требования

  • Способность откачивать среду с большим количеством твердых частиц (нечувствительность вакуумной системы к наличию частиц)
  • Откачка аргона (Ar), высокие температуры откачиваемой среды (при сжатии аргона в вакуумном насосе температура конца сжатия будет достигать больших значений, т.е. необходимо учитывать при проектировании)
  • Требуемые низкие предельные остаточные давления вакуумной системы, совместная работа с системами течеискания
  • Высокая надежность и простота сервисных работ
  • Низкие совокупные затраты при эксплуатации для привлекательности инвестирования
  • Вакуумные системы для проведения процесса выращивания кристаллов

Основные недостатки используемых вакуумных систем

  • Использование золотниковых (плунжерных) маслозаполненных насосов имеющих высокую стоимость и эксплуатационные затраты
  • Необходимость установки вакуумных насосов РУТС
  • Наличие фильтров твердых частиц (дорогостоящих), увеличенная длина трубопроводов и значительное снижение быстроты откачки

Вакуумная система с винтовыми насосами DRYVAC либо SCREWLINE это

  • Нечувствительное к среде инновационное решение
  • Достигается необходимое давление вакуума без использования вакуумного насоса РУТС
  • Фильтр (сборник твердых частиц) устанавливается на выхлопе из вакуумного насоса

Сравним вакуумные системы с использованием маслозаполненного вакуумного насоса и безмасляного винтового вакуумного насоса DRYVAC для проведения процесса при с давлении 5х10-3мбар

Солнечная энергетикаКлассическая схема – вакуумная система двухступенчатый золотниковый вакуумный насос с вакуумным насосом типа РУТС

Срок службы золотникового (плунжерного) вакуумного насоса напрямую зависит от корректной работы фильтра (правильности выбора, соблюдении интервалов чистки). Золотниковый вакуумный насос отлично работает в данных условиях при соблюдении температурных условий и качественном техническом обслуживании.

Частицы, накапливаемые в фильтре, классифицируются как вредное вещество, поэтому чистка фильтра представляет собой небезопасную процедуру – прибавляя сложности в общий процесс обслуживания установки.

Солнечная энергетикаРешение Oerlikon Leybold Vacuum GmbH

Предлагается использовать безмасляный винтовой вакуумный насос DRYVAC.

Так как винтовой вакуумный насос DRYVAC не чувствителен к твердым частицам в откачиваемой среде, то необходимости в специальном фильтре на всасывании нет. Отсутствие фильтра – приводит к увеличению скорости откачки (трубопроводы меньшей длины, отсутствует сопротивление фильтра)

  • Высокая надежность безмасляного винтового насоса DRYVAC
  • Винтовой вакуумный насос DRYVAC – приянты меры для надежной многолетней эксплуатации
  • Способность откачки среды с содержанием пыли Si/SiO
  • DRYVAC потоки газаПри вакуумировании с напуском воздуха газобалласта частицы Si/SiO вступают в реакцию (окисляются), причем реакция происходит в процессе сжатия в вакуумном насосе. Благодаря данной патентованной технологии (проведения реакции в винтовом вакуумном насосе), нет необходимости в дорогостоящих выхлопных фильтрах. Также винтовые вакуумные насосы имеют систему напуска инертного газа для защиты уплотнений от твердых частиц. Также отсутствует любая возможность попадания масла из зубчатой передачи.

Применение винтовых вакуумных насосов в процессах нанесения фотоэлектрических слоев.

  • DRYVAC вакуумная системаНечувствительность вакуумных насосов к наличию твердых частиц является основным требованием в процессах производства тонкопленочных фоточувствительных элементов.
  • Наличие газобалласта предотвращает конденсацию (осаждение) внутри вакуумного насоса.
  • Напуск инертного газа предотвращает попадание твердых частиц в полость зубчатой передачи
  • Устойчивая работа винтовых вакуумных насосов в условиях повышенных тепловых нагрузок, т.е. при откачке больших потоков горячей, активной (вступающей в реакцию) среды.

Особые требования к вакуумной системе

  • На внутренних поверхностях вакуумного насоса происходит осаждение, препятствующее теплообмену
  • Высокая газовая нагрузка по аргону
  • Откачка газовой среды с высокой температурой
  • Протекание реакций в ходе процесса откачки

DRYVAC охлаждение корпусаКонцепция водяного охлаждения винтовых вакуумных насосов DRYVAC

  • Максимальная эффективность теплообмена
  • Отсутствие любой возможности попадания воды в процесс
  • Оптимальный поток охлаждающей воды
  • Удобство очистки водяной рубашки
  • Устраняет необходимость установки холодной ловушки

DRYVAC осаждение селенаОсобенности при откачке сред содержащих селен

  • Селен необходимо конденсировать до вакуумного насоса (т.е. использовать холодную ловушку)
  • Селен конденсируется (осаждается) на более холодных поверхностях вакуумного насоса
  • Селен не конденсируется (осаждается) на роторах вакуумного насоса из-за их высокой температуры
  • Селен не нарастает на внешних поверхностях, т.е. заклинивания произойти не может
  • Селен токсичен
  • Ламинирование солнечных панелей

    SCREWLINE Ламинирование солнечных панелейОсновные требования в процессе ламинирования солнечных элементов

    В процессе ламинирования (склеивания) солнечных панелей используется полимеры (EVA Элитен винил ацетат, PVB поливинил бутират). При вакуумировании частицы мономеров (EVA Элитен винил ацетат, PVB поливинил бутират) остаются в форвакуумном насосе.Вакуумная система должна надежно работать в условиях откачки данных паров.

    Особые требования к вакуумной системе с процессах ламинирования

    Для надежной и многолетней работы винтовых вакуумных насосов Oerlikon Leybold Vacuum GmbH в качестве необходимых условий предъявляет: постоянный контроль температуры масла (температуры ротора т.к. масло циркулирует для отвода теплоты сжатия), газобалласт, напуск инертного газа в подшипник.

zapros
Отправить запрос

Расчет кривой откачки
Расчет откачки

Каталог PDF версия (62 МБ)

Основы вакуумной техники от Leybold GmbH

Основы течеискания от Leybold GmbH
печать

Новости