



Презентация о турбомолекулярных вакуумных насосах TURBOVAC i/iX от Leybold GmbH
Параметр | 90 i/iX | 250 i/iX | 350 i/iX | 450 i/iX | T350 i/iX | T450 i/iX |
Высоковакумный патрубок | 63 ISO-K 63 CF | 100 ISO-K 100 CF | 100 ISO-K 100 CF | 160 ISO-K 160 CF | 100 ISO-K 100 CF | 160 ISO-K 160 CF |
Форвакумный патрубок | 16 ISO-KF | 16 ISO-KF | 25 ISO-KF | 25 ISO-KF | 25 ISO-KF | 25 ISO-KF |
Скорость откачки по азоту, л/с | 90 | 225 | 290 | 430 | 290 | 430 |
Газовая нагрузка по азоту, мбар·л/с | 10 | 6 | 4,5 | 4,5 | 11,5 | 11,5 |
Предельное остаточное давление ISO-K/CF, мбар | 8·10-8 / 5·10-10 | |||||
Макс. форвакуумное давление, мбар | 14 | 14 | 10 | 10 | 0,5 | 0,5 |
Масса, кг | 3,1/4,8 | 4,0/6,6 | 7,5/11,5 | 7,7/12,5 | 7,0/11,0 | 7,2/12,0 |
Размеры, мм | 105 х 120 х 194 | 130 х 145 х 196 | 165 х 190 х 232 | 180 х 197,5 х 216 | 165 х 190 х 232 | 180 х 197,5 х 216 |
Серия I/iX представляет собой модульную линейку турбомолекулярныхнасосов, образующую единый модуль вместе с интегрируемой электроникой.
При разработке насосного оборудования TURBOVAC I/iX впервую очередь учитывалась необходимость в том, чтобы откачные характеристикисоответствовали геометрическим размерам.
Наличие новой конструкции узла ротор/статор позволяет получатьоптимальные показатели по быстроте откачки, степени сжатия (особо актуально длялегких газов), газовой нагрузке и так далее. Варианты с дожимающей ступеньюХольвега тоже доступны.
Подшипниковый узел состоит из постоянного магнита, который отвечает за восприятие радиальной нагрузки и опорный керамический подшипник для восприятия осевой нагрузки. Керамический подшипник находится на стороне форвакуума, смазка закладывается на весь срок службы подшипника и меняется вновь закладывается при замене подшипника. Благодаря новой концепции подшипникового узла замену механического подшипника можно производить без использования специального балансировочного оборудования, то есть при использовании простого инструмента.
В турбомолекулярных насосах TURBOVAC i от Leybold GmbH, имеющих стандартную комплектацию, есть возможность подключать газ для вентилирования, а также есть порт для подключения газа напуска в насос через клапан или дроссель.
Все рассматриваемые насосные устройства оснащены интегрированнымблоком электроники 24/48 В, функциональная нагрузка которого состоит в полномконтроле за работой (включая подачу питания, а также частоту оборотов насоса).Возможность установить мультиинтерфейсный модуль тоже имеется.
Насосные устройства серии I/iX отличаются особой гибкостью в планемониторинга и контроля. Подобные широкие возможности объясняются солидным выборомисполнений как самого насоса, так и других составляющих: электроники, корпуса,аксессуаров.
В отличии от версии i насосы серии iX оснащаются контроллеромвакуумной системы встроенного типа, который способен управлять не толькодатчиком вакуума, но и также вентилятором, клапаном и форвакуумным насосом.Наличие модулей разных интерфейсов существенно упрощает процесс монтажа(интеграции) насоса в состав общей системы и облегчает его ввод в эксплуатацию.
Выбор конструкции вакуумного модуля насоса (статора, ротора,ступени Хольвега) зависит от индивидуальных требований отдельно взятогопроцесса: необходимой быстроты откачки легких (либо тяжелых) газов,наличествующей газовой нагрузки, актуальной степени сжатия, присутствиямультикамерных систем.
Широкий выбор корпусов, а также вариантов размещения блоковэлектроники гарантируют удобность установки. Наличие дополнительных аксессуаровдля линейки I/iX существенно расширяет перечень сфер применения.
Данная стандартная версия является выгодным решением, котороеоснащено всеми базовыми функциями, а также управляющим интерфейсом.
Вариант категории «стандарт» для тех сфер, где необходима компактность устройства. Присутствиеступени Хольвега дает высоту степеней сжатия, а также требуемую быстротуоткачки (главным образом, для легких газов). Вследствие высокой компрессиистановится возможной бесперебойная работа как со спиральным, так и сдиафрагменным насосом.
Классический ротор, лишенный дополнительной дожимающей ступени,позволяет использовать оборудование версии T в процессах с особымитребованиями, а также при высоких нагрузках газа. По сравнению со стандартнымвариантом версия T дает большую скорость откачки, подходит для существенновозросшей нагрузки газа, а также демонстрирует малую чувствительность кприсутствию твердых частиц либо пыли внутри откачиваемой среды.
Ротор специальной конструкции, а также наличие двух и болеевходов, дает в итоге компактное и вместе с тем эффективное решение, подходящеедля мультикамерных систем. Версия I – это высота уровня интеграции (посравнению с единовременным использованием нескольких насосов), а такжеминимальный вес и габариты. Новый узел ротор/статор служит дополнительнойгарантией надежности.